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代理销售
产品类型

罗茨干式真空泵机组(JGM系列)

产品说明

JGM、JGH系列多级干式真空泵,结合罗茨与爪型转子吸气原理,通过多级转子的优化组合,最大限度利用了多级罗茨干泵与爪型干式真空泵的优势,从而在较宽的压力范围内获得较大的实际抽速,高效地实现了洁净真空环境的获得。


技术指标

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应用领域

重点应用:

    集成电路、太阳能电池、LED领域,可用于装载腔、传输腔等清洁工艺过程,也可用于PVD、刻蚀、多种CVD等一般制程工艺或苛刻制程工艺过程。 

    其他应用:

        真空冶金(回火和退火、钢脱气,表面处理熔化,精炼,铸造和焊接等);
        真空镀膜系统(玻璃镀膜、精密光学等);
        真空包装、食品、化工、医药、电机制造等工业蒸馏、蒸发、干燥等

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