您的当前位置:首页 > 产品中心 > 维修业务
维修业务

ESA系列

产品说明

EBARA维修为上凯仪主要维修品牌,具有强大的维修能力。并具有全系列维修能力,从最早80*25系列至A系列至AA系列到最新的EVS系列。从2003年开始就致力于配合各客户维修EBARA系列PUMP。主要客户为国内各半导体,光电等主要客户:台积电(TSMC-10);华虹宏力(HHNEC);华润上华(CSMC);杭州士兰(SL);业成光电等…从2007年开始每年维修量呈递增趋势。从年维修量80台至2014年年维修量突破400台